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低溫等離子廢氣處理凈化設備低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降 解污染物的目的。一般氣體放電，將會產生等離子，而這種放電現像就是通過某種機制使一個或者多個電子從氣體原理或分子中分離出來，形成氣體媒質，這種媒質 就稱為電離氣體，如果外電場產生了電離氣體，傳導電流就形成了，這種現象就被稱為氣體放電。而這種凈化設備的技術，就是工業廢氣處理最新的一種原理。

等離子廢氣凈化器設備利用設備電極板間產生的高能電子、高活性基團等活性粒子和廢氣成分作用，使廢氣分子在極短時間內發生分解并和活性基團發生的各種反應生成水和二氧化碳，等離子設備在處理廢氣時可能產生放電。

經過廢氣處理設備的物質能夠與等離子發生反應，無論是惰性氣體還是化學性質活潑的氣體，尤其對一些難以處理的揮發性氣體，等離子凈化裝置能夠地完成處理過程。比起活性炭凈化裝置，這種設備不需要定期換耗材，效率也了提升。人們可以根據廢氣的流速和濃度來設置管道的尺寸，只要安裝沒有問題，后續的使用過程就不會出現太大的問題，可以節省維護人員的配備，設備操作起來比較簡單，基本上不需要提前設置參數，只要帶來機器，廢氣就可以通過機器到達排放口，排到空氣中的廢氣是凈化過的潔凈氣體。

低溫等離子廢氣處理凈化設備內部裝有的碰吸單元，截留去除廢氣中的顆粒物質，廢氣收集系統收集的多元素氣體經過等離子活性氧凈化裝置。在高壓等離子電場的作用下，電離初始態氧將其中的廢氣離子進行電離荷電凈化，帶電的微小離子(塵埃粒子)被吸附單元所收集并流入和沉積到氣體處理裝置的儲塵箱內，氣體內的氣體被電場內所產生的臭氧所，并去除了異味，氣體被除掉,達到廢氣處理的目的。