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UV光氧廢氣凈化處理用的高臭氧UV紫外線光束照射惡臭氣體，裂解惡臭氣體如：氨、三甲胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，VOC類，苯、甲苯、二甲苯等的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在紫外線光束照射下，裂解解轉變為離子。

V光氧催化氧化廢氣治理設備中對有機揮發性廢氣進行光解與催化氧化。光解首要是通過高能UV紫外線對空氣中的氧氣發作分化作用，推進氧分子分化變成游離態的氧，因為游離態氧上的正負電子處于不平衡狀態，因而游離態氧極易與氧分子聯系生成臭氧，而臭氧的強氧化作用可以推進有機揮發性廢氣的分化。在UV高效設備內安裝著紫外線放電管，紫外線放電管發作的光子能量可以高達647KJ/mol、742KJ/mol，如此高的光子能可以迅速裂解小于該能量的有機揮發性廢氣的分子鍵，使其轉變為無機小分子物質。

UV光氧廢氣凈化處理催化器安裝的特制高能高臭氧的UV紫外線燈管會發出紫外線照射廢氣，以分裂苯乙烯、苯、甲苯、二硫化碳此類工業廢氣的分子鏈結構，使這些有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在散發出的高能紫外線的照射下，降解為低分子化合物，如CO2、H2O等。
高能的UV紫外線光束可以把空氣中存在的氧分子進行分解，從而產生游離氧，游離氧由于自身攜帶不平衡的正負電子，會與氧分子進行結合，從而產生臭氧。臭氧對有機物有著強的氧化作用，所以臭氧對工業廢氣中的異味清除有著非常明顯的效果。
UV光氧設備還可以分解工業廢氣中細菌的分子鍵，進行殺菌消毒。

UV光氧設備是在廢氣處理中是非常常見的設備。UV即是紫外線的簡稱，我們在日常談論中經常將“UV"作為UV光氧設備的簡稱，但這里存在一個誤區，在UV設備中，還有一種設備叫做UV光解設備。兩者均可用來處理污染物，但又有很大的區別。簡單的說：

UV光解設備：利用了高能紫外線的能量進行光化學反應，通過光解來處理污染物。

UV光氧設備：除了紫外線光解污染物，還有一個重要的光催化反應來處理污染物。